产品中心

自动压力控制CVD管式炉

产品型号:KJ-1200T

主要用途:主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等工业真空烧结、保护气氛烧结、CVD实验、真空沉积、材料成分测定场合。

在线咨询报价联系热线:177-3714-9370

图片点击可放大

设备介绍

自动压力控制CVD管式炉是郑州科佳生产的一款CVD化学气相沉积设备,型号为KJ-1200T,该设备最高工作温度为1100℃,配备真空泵,气体混合装置。控温系统采用PID方式调节,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等工业真空烧结、保护气氛烧结、CVD实验、真空沉积、材料成分测定等场合。

产品优势

  • 自动压力调节系统

    配置触摸屏PLC控制器,可根据需求将压力调节为 50-300torr

  • 可在无人值守下运行

    有超温保护和报警,及过热和热电偶断裂保护功能,允许在无人值守的情况下运行

  • 控温精度可以达到±1℃

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

技术参数

设备名称 自动压力控制CVD管式炉
设备型号 KJ-1200T
最高功率 6KW
工作电压 AC 220V 单相, 50Hz  可定制
加热元件 掺钼铁铬铝合金  
最高工作温度 1200℃
连续工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议1-10 ℃/min(最大不超过20 ℃/min)
炉管尺寸 外径 50mm x  长1200 mm 
加热区长度 200mm+200mm+200mm
加热曲线 30步可编程
热电偶 K型
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
压力调节系统 质量流量计一台:可根据泵压力调节
压力传感器:(inficon 品牌:测量范围:3.8x10-5 至 1125Torr ),安装在炉管出口处
触摸屏PLC控制器:将压力调节为 50-300torr
皮拉尼真空计 安装在炉管进气侧,测量范围:1×10^5~1×10^-1 Pa
四通道MFC气体混合站 显示:液晶触摸屏
最大压力:3×10^6Pa
准确性:±1.5%满量程
重复精度:±0.2%满量程
四个精密质量流量计:
MFC 1:Ar 流量范围 0~600 sccm
MFC 2:N2 流量范围 0~600 sccm
MFC3:合成气(5%H2+95%N2)流量范围 0~600 sccm
MFC4:氧气:0-600sccm
底壳上安装有1个气体混合罐,底壳左侧安装有5个不锈钢针阀,可手动控制4种气体混合。
真空泵 涡旋真空泵
售后服务 质保一年,终身保修

 

 

 

在线留言

报价清晰 材料透明 省钱省心
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:微信

关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

在线咨询

获取报价

即刻留言

添加微信咨询报价

咨询热线
17737149370

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

177-3714-9370

扫一扫,关注我们