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三温区CVD管式炉

产品型号:KJ-TCVD1600-L80LB3

主要用途:该设备适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

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设备介绍

科佳KJ-TCVD1600-L80LB3是一款高温CVD管式炉,该设备采用刚玉炉管,工作温度可达1600℃,可抽真空通气氛,发热元件采用优良MoSi2,炉膛采用陶瓷纤维材料,具有安全可靠、操作方便、控温精度高、保温效果好、炉温均匀性高等特点。该设备适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品优势

  • 高纯氧化铝纤维炉膛

    发热元件采用优良MoSi2,炉膛采用陶瓷纤维材料,保温性能好,经久耐用,抗拉强度高,无杂志,纯度高,节能效果明显

  • 双层外壳结构 配备冷风系统

    双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度低于60℃,一体式不可打开炉门,保温效果好

  • 可无人值守情况下操作

    内置PID自动调节功能,具有过热和断开热电偶断开保护; 超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作

技术参数

加热系统(管式炉)
最高温度 1700 
工作温度 1600
显示 LED显示屏
管径 80mm(外径)
管材 刚玉管
热区长度 220+220+220mm(每个热区之间会有间隙)
加热元件 MoSi2
加热速率 0-5℃/min
温度控制
 
● PID自动通过SCR(可控硅整流器)控制功率,相位角触发,限流电阻器。
● 30个可编程段,用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。
● 内置PID自动调节功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。
● 超温保护和报警,允许在无人值守的情况下操作。
热电偶
3个热电偶(测量和温度控制功能),位于每个热区的中间(管道外侧)
1个热电偶(仅测量温度),位于管内。
温控精度 ±1℃
炉膛结构
双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度低于60℃。
一体式不可打开炉门。
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
工作电压 220V 50Hz
最大功率 6KW
供气系统
4通道质子流量计: MFC 1:气体流量范围为0~100sccm
MFC 2:气体流量范围为0~200 sccm
MFC 3:气体流量范围为0-500 sccm
 MFC 4:气体流量范围为0~200 sccm
一个气体混合罐安装在底部壳体上,带有液体释放阀
底壳左侧安装4个不锈钢针阀,控制4种气体混合
真空泵+真空计系统
真空泵+真空计 配备旋转叶片泵,使真空度达到10Pa(冷却状态)


3温区管式CVD系统实拍图

注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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