分子泵主要应用于真空炉，CVD设备和PECVD设备的抽真空，它的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递远离，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
分子泵在使用中应注意以下事项：vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1、分子泵不能在前级泵工作时（前级管道接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵内；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2、分子泵系统充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气，绝不能从泵的前级管路进行充气；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3、分子泵工作时严禁大气量气体进入泵内，否则会导致分子泵损坏；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4、分子泵是高速旋转的精密设备，抗振动或冲击能力较弱，因此应避免与振动或冲击强烈设备接触；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
6、分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
7、分子泵不宜长时间保持真空状态，防止前级泵油反扩散到分子泵内；vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
8、分子泵停止后，应关闭冷却水，以防止在泵内形成冷凝水。vkb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司