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PECVD等离子气相沉积设备是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜。
产品优势
炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好
采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
炉体可倾斜,炉管可正、反转且转速可调,使物料动态加热,受热更均匀、和所通气体可充分接触反应
产品名称 | 管式PECVD等离子气相沉积系统(CE认证) |
旋转管式炉部分 | |
产品型号 | KJ-T1200 |
加热区长度 | 660mm(220+220+220mm三温区) (其他尺寸可根据客户需求定制) |
炉管材质 | 高纯石英管(变径管) |
炉管尺寸 | 变径管 两端尺寸OD:80mm* 400mm 中间尺寸OD:150mm* 400mm 总长1200mm 炉管中间部分焊接扬料板 (其他尺寸可根据客户需求定制) |
工作温度 | ≦1100℃ |
最高温度 | 1200℃ |
测温元件 | 3支N型热电偶分别控温 |
温控系统 | 触屏显示,16段可储藏曲线,30段PID微电脑可编程自动控制,能储存和拷贝数据 |
保温温控精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 建议0-10℃/min |
加热元件 | 合金电阻丝 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好 |
法 兰 | 水冷密封法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀,方便拆卸,放取材料 |
倾斜结构 | 可倾斜倾斜角0-15°(倾斜角可调)方便进出料 |
旋转结构 | 可 360 度旋转, 转速0-15转(速度可调) 材料在炉膛内均匀受热 |
真空系统部分 | |
名称 | 分子泵组: 旋片泵+分子泵 |
主要参数 | 极限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体) |
真空显示 | 实时显示真空度 |
旋转密封 | 磁流体密封,保证旋转过程中还能抽真空 |
气路系统部分 | |
名称 | 三路质量流量计 |
气路 | 三路 |
流量控制 | 液晶触摸屏控制,数字显示 |
进出气口 | 三进一出,内置精密混气罐 |
等离子射频器部分 | |
名称 | 射频自动匹配器 |
匹配功率范围 | 0-500W |
工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
控制模式 | 手动/自动 |
管式PECVD等离子气相沉积系统实拍
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河南鸿炉机械有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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