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滑道式PECVD系统

产品型号:KJ-T1200-S6044-LK-Z

主要用途:滑道式PECVD系统由PT-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。

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设备介绍

        滑道式PECVD系统由PT-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。9q2高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
  

产品优势

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 智能多段PID可编程

    温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序

技术参数

产品名称 滑道式PECVD系统
滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S6044-LK-Z
加热区长度 440mm
炉管直径 直径60mm
工作温度 ≦1100℃
最高温度 1200℃
测温元件 K型热电偶
温控系统 PID微电脑可编程自动控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min
加热元件 高电阻电热合金丝OCr27A17Mo
工作电压 AC 220V 单相 50HZ 
滑轨设计 能实现快速升降温
炉膛材料 采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好
炉  管 高纯石英管
法   兰 不锈钢法兰,方便拆卸,放取材料
炉壳温度 ≤45℃
                     真空系统部分
名称 高真空分子泵组
主要参数 真空泵极限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移动箱体)
真空计测量范围 其测量范围为1×105--1×10-5pa
气路系统部分
名称 四路质量流量计
气路 四路
流量控制 每路气体含有针阀单独控制
流量计 质量流量计
流量范围 0-1000sccm可调
工作环境温度 5℃-45℃
等离子电源系统
匹配功率范围 0-500W
工作频率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 <3W
匹配时间 <3S
传输效率 >90%
匹配器电源 AC220V/50-60HZ
输入连接器 N型
输出连接器 UHF
控制模式 手动/自动
可设预置点数 7
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
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