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六通道高真空PECVD设备

产品型号:KJ-T1200-S60-6ZH-PE

主要用途:可应用于纳米材料生长,石墨烯生成、金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜等各种薄膜等

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设备介绍 

        六通道高真空PECVD系统是一款由1200度管式炉,等离子射频电源,分子泵高真空,六通道气路等组成的等离子化学气相沉积系统,加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。该等离子化学沉积系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可应用于纳米材料生长,石墨烯生成、金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜等各种薄膜等,可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。wDX高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 智能多段PID可编程

    温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序

技术参数

产品名称 六通道高真空PECVD系统(CE认证)
管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S60-6ZH-PE
炉管尺寸 Φ60mmX1400mm
炉管材质 石英管
加热区 400mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 30段可编程序控温
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
选配 辅助降温风扇
 真空系统部分
名称 真空系统
主要参数 1.采用高真空分子泵组,极限真空度可达10-3pa
2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;
3.数字式真空显示,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度高高
气路系统部分
名称 六路质量流量计
主要参数 六通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。流量范围流量范围:
1.MFC 1-MFC6:0-1000sccm可调
2.一个混气罐
3.6个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制6种气体;
4.进出气口:6进1出
流量控制:手动旋转式调节
连接方式:双卡套连接
等离子电源部分
名称 500W等离子电源
功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
射频输出阻抗接口 N-type,female(50Ω)
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 70W
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
供电电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
冷却方式 风冷
整机尺寸 88X483X550 MM
整机重量 13.5KG
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
更多规格可根据要求来定制

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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