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带预热系统滑动式PECVD设备

产品型号:KJ-T1200-S06LC-YR

主要用途:是应用于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜的一款新的探索工具。

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设备介绍

       该设备是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源,预热炉,滑动式管式炉,4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。 PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜,可用于生长纳米或CVD方法来制作各种薄膜。 该等离子化学沉积系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。是应用于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜的一款新的探索工具。XAY高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 带有预热炉

    带有预热炉,气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合

  • 沉积温度低

    与普通PECVD相比较,其沉积温度大大降低,减少了高温对薄膜的损坏

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

技术参数

产品名称 带预热系统滑动式PECVD设备
滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S06LC-YR
炉管尺寸 60*长度1600mm
可选其他直径Φ50,80,100,120,150mm
炉管材质 石英管
加热区 双温区,每个温区长度200mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 触屏控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
炉体结构 炉体带滑轨,可实现快速升温和降温
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
预热炉部分
主要参数 最高温度1100度 ,多段程序控温,可将固体和液体原料放在预热炉中,气化后与气体原料相混合
真空系统部分
主要参数 采用机械,可实现炉管内的真空
气路系统部分
名称 四路质量流量计(量程可选)
等离子电源部分
功率范围 0-500W(连续可调)
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围)
更多规格可根据客户需求定制

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
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