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三温区CVD系统

产品型号:KJ-OTF-1200-80*220*3-F3

主要用途:该CVD系统广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域

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设备介绍

        此款多温区CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1200度高温管式炉组成。该CVD化学沉积系统广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。I7Z高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • PID程控技术

    控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠

  • 操作方便快捷

    气路采用快速连接法兰结构,提高操作便捷性

  • 稳定的真空系统

    中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵

技术参数

产品名称 三温区CVD系统
产品型号 KJ-OTF-1200-80*220*3-F3
加热系统 显示 LED
最高温度 1200℃
工作温度 1100℃
升温速率 建议: 0~15℃/min
温区 3温区
每个区域的长度 220mm
加热元件 钼电阻丝
热电偶 K型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸/材质 80 x 1300mm 
材料:高纯度石英
温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制
加热过程 30步可编程
真空测量 复合数字真空计
真空法兰 带阀和针的不锈钢真空法兰
电源 220V,50Hz,单相或根据需要,最大8KW
真空泵系统 冷态极限真空6.67*10-3Pa。
真空泵总成(旋转叶片泵+扩散泵)
天然气路线 高精度质量流量计 3气路Ar、N2、C2H4气体
流量范围 可选(20、30、50、100、200、300、500)SCCM
工作压力差范围 0.1~0.5MPa
耐压性 3MPa
温度系数 零点:≤±0.2%F.S./℃;量程:≤±0.2%F.S./℃
工作环境温度 5~45℃
更多尺寸可按需求定制

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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