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高温化学气相沉积系统

产品型号:KJ-CVD-1700-60*300-F3

主要用途:该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。采用温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

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设备介绍

        该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。采用温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。C8k高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 刚玉材质炉管

    炉管采用刚玉材质,工作温度可达1600度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

  • PID自动温控

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

  • 良好的气密系统

    炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、密封性强,法兰带阀门和相关接口,可抽真空通气氛

技术参数

产品名称 高温化学气相沉积系统
产品型号 KJ-CVD-1700-60*300-F3
加热部分 显示 LED
最高温度 1700℃
工作温度 ≤1600℃
升温速率 建议: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
加温温区 300mm
加热元件 硅钼棒
热电偶 B 型
控温精度 ±1℃
炉管尺寸 60 x 900mm
刚玉管
温度控制 PID自动控制
升温速率 30段可编程
电压 220V, 50 Hz, 单相 最大功率: 4KW
最大工作压力 0.02MPa
真空部分 真空泵总成 (旋转叶片泵+扩散泵) 
包括KF25、KF50适配器、用于真空泵组的波纹管和带轮子的移动柜。
 冷态极限真空6.67*10-3Pa。
真空测量 复合真空计。
真空法兰 带阀和针的不锈钢真空法兰
质量流量计(3条气体路线Ar、H2、CH4) 流量范围 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
准确度 ±1.5 % F.S.
响应时间 ≦10sec
工作压力差范围 0.1~0.5MPa
耐压性 3MPa
工作环境温度 5~45℃
输入电压信号 0 V ~ +5.00 V
输出电压信号 0 V ~ +5.00 V
 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
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