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低真空CVD系统

产品型号:KJ-T1200-S60-CVD

主要用途:此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍

此款CVD系统工作温度为300℃至1200℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。此款CVD高温管式炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。t8a高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 真空度自动控制

     中低真空系统具有真空度上下限自动控制功能

  • 耐冲击高真空系统

    高真空系统采用高压强,耐冲击真空泵,防止意外漏气造成真空泵损坏,延长系统使用寿命

  • PID程控控制系统

    控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲

技术参数

产品名称 低真空CVD系统
产品型号 KJ-T1200-S60-CVD
管式炉部分
炉体结构 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃
炉膛材质 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
最高温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
升温速度 推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min
炉管材料 高纯石英管
炉管尺寸  OD:60mm* ID:54mm * 长1200mm 
仪器使用前必须放入管堵,防止热辐射
加热区长度 220+220+220mm
法兰 不锈钢密封法兰,拆卸方便,法兰上装有精密针阀
温控系统 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能
1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序
2、控温精度±1ºC 
3、具有过温保护、断偶保护
4、仪表具有温度自整定的功能
加热元件 含钼合金电阻丝
测温元件 K型热电偶
工作电源 AC220V,50/60Hz
额定功率 5KW
进出气口 法兰上含有真空连接口,进出气口
气路系统部分
质量流量计 四路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。
MFC1 范围:  0-500 sccm(量程可选)
MFC2 范围:  0-500 sccm(量程可选)
MFC3 范围:  0-500 sccm(量程可选)
MFC4 范围:  0-500 sccm(量程可选)
气路:4 路
流量精度: 0.2%
真空系统部分
真空泵 1.DRV10旋片泵抽速2L/S
2.极限真空度:7*10-2Torr
3.数显真空计,实时显示真空度,真空显示范围:1×105--1×10-1pa
标准配置 主机 1 台,流量计 1 套、真空泵 1 套,密封法兰 1 对,石英管 1 支, 密封圈4 个,炉堵 6 个,坩埚钩 1 把,高温手套 1 副、拆卸扳手 1把、说明书 1 份、合格证保修卡 1 份

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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