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大口径CVD管式炉

产品型号:KJ-T1200-CVD

主要用途:包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

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设备介绍 

       KJ-T1200大口径CVD管式炉是一种具有60mm直径石英管,真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的可拆分管式炉。 它可以混合1-3种气体.该系列化学气相沉积系统用于CVD或扩散包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。kTb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

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产品优势

  • 双层壳体上开启结构

    双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

  • 30段高精度可编程温控

    控温系统采用PID方式调节,30段高精度数字可编程温度控制器

  • 触屏操作简单快捷

    采用触屏操作系统,数据可存储可通过EXCEL输出

技术参数

 型号 KJ-T1200-CVD
显示 液晶显示屏
第一部分 管式炉部分
炉膛 分体式和上部可以打开
最高工作温度 1100°C
加热速率 建议:0〜10℃/ min(最高20℃/ min)
加热温区 500mm
加热元件 钼电阻丝
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 外径200mm X长度1200mm
供电电源 三相380V,50HZ
功率 20KW  (功率以实际设计为准)
温度控制器 30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分 混气系统 (七星华创)
流量计 LCD触摸屏
MFC1 H2 0-200sccm 氢气
MFC2 NH3 0-200sccm 氨气 (D07-26C 即可,但是需要特殊要求耐氨的)
MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷(CS200A 硅烷专用流量计)
更多规格可根据需求定制

 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
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