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箱式化学气相沉积系统

产品型号:KJ-M1200(1400/1700)-Z

主要用途:应用于大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。广泛用于高等院校、科研单位、工矿企业进行:高温实验、材料烧结、成分分析,质量检测等热处理工作。

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设备介绍

箱式化学气相沉积系统采用炉体和智能控制一体化设计,整个炉体美观、大方。PID可编程序智能控温,移相触发,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷循环系统,炉门底部升降,节能安全。化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。 该系列产品可广泛用于高等院校、科研单位、工矿企业进行:高温实验、材料烧结、成分分析,质量检测等热处理工作。0Tg高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 工作温度可选

    不同的加热元件达到最高1200℃、1400℃、1700℃,温场均衡,可根据需求选择温度

  • 适用范围广

    是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等

  • 可设置30段升降温程序

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,移相触发,控温精度可以达到±1℃

技术参数

型号 

KJ-M1200-Z

KJ-M1400-Z

KJ-M1700-Z

最高温度

1200℃

1400℃

1700℃

工作温度

1100℃

1300℃

1600℃

加热元件

含钼电阻丝

优质硅碳棒

优质硅钼棒

升降方式

底部液压升降

热电偶

K 型

S型

B 型

炉膛尺寸

150x150x150

300x300x300

500x500x500

200x200x200

300x300x400

600x600x600

200x200x300

400x400x400

800x800x800

炉膛材质

氧化铝陶瓷纤维

氧化铝陶瓷纤维

氧化铝陶瓷纤维

加热速度

0-20℃/min

0-10℃/min

0-10℃/min

温控精度

±1℃

±1℃

±1℃

供电电源

110-415V,50/60Hz

110-415V,50/60Hz

110-415V,50/60Hz

其他规格可以按照客户要求定制

选配

坩埚、触屏控温、电脑温控软件等

注意事项

 1.为了提升炉组件的寿命,建议升温速率不超过10℃/min。 

 2.冷却速率应不超过5℃/min。 

 3.该炉无真空密封性,禁止通入有毒或爆炸性气体。 

 4.在炉膛的表面上可能会出现小裂纹。这是一个正常的现象,不影响正常使用,裂纹可以用氧化铝涂层修复。 

 5.加热炉膛可更换 

 6.若燃烧物料释放蒸气或冒烟,请将炉膛放入通风柜内操作。

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
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 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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