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KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳纳米管材料CVD设备由管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,最高温度可以达到1050度,可定制单温区、双温区、三温区等,极限真空最高可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
产品优势
炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点
采用PID程序化温控系统,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制
具有安全互锁、故障诊断和异常报警功能
产品名称 | 石墨稀、碳纳米管材料CVD设备 |
产品型号 | KJ-T1050-CVD-LZ |
炉型结构 | 卧式、单管或多管系统自动控制 |
适应晶片尺寸 | 50--200mm |
取片方式 | 自动悬臂石英推拉舟,配合手动取、放片 |
最高温度 | 1050℃ |
极限真空度 | 优于1Pa |
温度稳定性 | 400℃~850℃≦+-0.5℃/24h |
抽速 | 抽至极限真空时间15min左右 |
供电电源 | 380V 50Hz 三相五线 |
选配 | 冷却水:2~4KGF/c㎡,8L/min |
更多规格可根据需求定制 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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