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1200℃双管滑道式CVD系统

产品型号:KJ-1200T

主要用途:专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。

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设备介绍6KH高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

        该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。炉底部装有滑轨,可通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。该cvd高温炉广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。  6KH高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

 

产品优势

  • 可快速加热和冷却

    炉底部装有滑轨,可通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却

  • 30段高精度可编程温控

    控温系统采用PID方式调节,30段高精度数字可编程温度控制器

  • 双温区独立控温

    双温区独立控温,可以在加热区内形成温度梯度或较长的恒温区域

技术参数

产品名称

1200℃双管滑道式CVD系统

第一部分: 1200度滑道双管双温区管式炉

产品型号

1200度滑道管式炉

炉管尺寸

双石英管

外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

内管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

加热区

220+220mm

供电电源

230V,单相,50HZ

功率

4.0 kw

加热元件

电阻丝

升温速率

0-20°C/min

热电偶

 K型

第二部分: 水冷系统

法兰

1.水冷机 CW-3000

2.水冷,密封双管的真空法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.

第三部分  真空系统

真空系统

1. 防腐数显真空计   

2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含挡板阀 KF25接口,波纹管和箱体

第四部分  混气系统

质量流量计

量程:

MFC 1: 0~10 sccm  

MFC 2: 0~200 sccm  

MFC 3: 0~10 slm  

MFC 3: 0~10 slm  

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
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 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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