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流化床CVD系统

产品型号:KJ-CVD-DZ

主要用途:主要用于物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺的研究。

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设备介绍

      定制流化床CVD系统,由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统组成。该系统以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,真空泵接口,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。该立式CVD管式炉广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。nCI高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 nCI高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 多段智能PID程序控温

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

  • 优良的动密封系统

    不锈钢金属法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空充保护气体至微正压

  • 立式可开启结构

    双层壳体立式可开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

技术参数

产品名称

流化床CVD系统

产品型号

KJ-CVD-DZ

立式管式炉部分

炉膛模式

立式开启式

炉膛材料

进口氧化铝耐火纤维

加热元件

优质硅碳棒

极限温度

1400℃

工作温度

≤1300℃

升温速率

≤20℃(建议:15℃/min)

加热温区

单温区、多温区

温区总长度

200、300、440

炉管材质

高纯石英管、刚玉管

炉管直径

40、50、60、80、100mm......

密封方式

304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)  

控制模式

多段智能PID程序控温  预留通讯接口

控温精度

±1℃

温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

测温元件

K型热电偶

气路系统部分

工作电压

220V/50HZ

最大输出功率

18W

工作温度

5--45℃

气体通道

可同时连接多种气源

流 量 计

质量流量计

A路量程  

0~500SCCM

B路量程 

0~500SCCM

C路量程  

0~500SCCM

.....

 .....

气路压力

-0.1~0.15 MPa

截止阀

不锈钢材质

气体连接管

1/4不锈钢管

数显真空计及连接件

数显真空计  

数显真空计安装在不锈钢法兰上

      真空泵组(相关连接配件)

真空泵

真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ

认证

ISO认证、CE认证

售后服务

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
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