RTP红外灯管加热管式炉

设备介绍

      KJ-RTP1100-100IC滑轨式管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉， 不但拥有非常快的升温速率，而且在烧结工艺运行完结后，直接将试样移动至室温下，实现物理状态下的快速降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。该快速热处理管式炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计，采用红外灯管加热，最快升温速度为 50°C/秒，30 段温度控制，精度为 ±1°C，计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。DS6高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

技术参数

温区数量、滑轨长度、炉管材质、开门方式均可根据需求定制，详情可咨询客服

下图为上开启滑动式石英管炉

标准配件：

刚玉炉管×1	真空法兰×1	防烫罩×2
高温手套×1	坩埚钩×1	热电偶×1
刚玉坩埚×2	炉塞×2	中文说明书×1

注：坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件：

液晶触摸控制仪

 1．实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
 2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
 3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
 4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
 5．具备多组历史数据记录功能。
 6．具备同时显示多段温度及时间功能。

多路质子流量计

 1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
 2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
 3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
 4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
 5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。 。

耐高温真空泵

 该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计，大幅度降低泵的表面温升；采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油，更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封，确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计，零部件少，重复性好，外形紧凑，便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油，即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计，有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染；该产品还设计有两档气镇，可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。