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1200℃石墨烯生长炉

产品型号:KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S

主要用途:KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。

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产品介绍

      KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计;广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。该设备由KJ-1200T管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。M7P高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 M7P高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 智能多段PID可编程

    采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制

技术参数

品名称

1200℃石墨烯生长炉

产品型号

KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S

管式炉

加热区长度

440mm

恒温区长度

150 (+/-1 ℃)

工作温度

1100℃(此温度为长期加热温度)

最高温度

1200℃

炉管尺寸

Φ60×1440mm

等离子射频电源

输出功率

5 ~500W    ± 1% . 

射频频率

13.56 MHz    ±0.005% .

反射功率

约200W 

阻抗匹配

自动

真空泵机组(双极旋片泵)

真空度

10-3torr

波纹管

KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.

质量流量计

四通道控制

精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口

MFC 1范围

0~100 sccm 

MFC 2和3

0~500 sccm  

进气接口

1/4NPS

出气接口

1/4NPS

水冷系统

水冷法兰要求

水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组


标准配件:

等离子射频电源1台、质子混气系统1台、双旋机械泵1台、水冷系统1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份


注:坩埚可按用户需求选配合适的款型

 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
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 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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