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LCD触摸屏CVD高温炉

产品型号:

主要用途:这款CVD炉可用于碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍

LCD触摸屏CVD高温炉是一款适用于CVD工艺的高温管式炉,采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃;采用PID30段可编程序智能控温,移相触发;炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,保温性能好,温场均衡;智能控温不需要人看守。这款CVD炉可用于碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

  • 带风冷系统的双层壳体

    采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 

  • 可设置30段升降温程序

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃。

  • 优良的动密封系统

    炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便,密封性强,不锈钢金属法兰,带阀门和相关接口,可抽真空充保护气体。

技术参数

设备名称 LCD触摸屏CVD高温炉
设备型号 KJ-TCVD1100-S80CK1W
高温炉壳体 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 
最大功率 5KW
电压 AC 220V 单相, 50Hz 
加热元件 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其较大程度延长使用寿命)
最高工作温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
升温速率 1-10 ℃/min
炉管材质和尺寸 石英管: OD: 80mm x  Length: 1000 mm 
加热区长度 总加热区440mm
恒温区长度 150 mm (+/-1 ℃) 
控制方式 LCD液晶触屏
热电偶 K型热电偶,3个校准热电偶测量的温度直接显示在炉体的液晶显示屏上
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀)
高真空站结构 高真空站控制面板(基本用于分子泵速度和真空水平):
内部:涡轮分子真空泵站
涡轮泵和前级泵-干泵和石英管之间的所有连接、配件和阀门截面均符合KF-25连接标准。
真空度   6.7*10-3PA(空置、室温条件下)
混气系统 三个质量流量计
三路质量量程分别为
1-100sccm
1-200sccm
1-500sccm
含机械压力表、针阀、燃气通道、燃气混合阀、截止阀及配件等。
彩色屏控制,阀门材质为316不锈钢
售后服务 质保一年,终身保修

 

 

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

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 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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