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3通道CVD设备

产品型号:KJ-T1600 -3M

主要用途:此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍 

   KJ-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

  • 刚玉材质炉管

    炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

  • 控温精度可达±1℃

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

  • 触屏操作简单快捷

    采用触屏操作系统,数据可存储可通过EXCEL输出

技术参数

产品名称 3通道CVD设备
型号 KJ-T1600 -3M
管式炉部分 显示 液晶触摸屏
最高温度 1600℃
工作温度 ≤1500℃
升温速率 0~10℃/min
温区 300mm
加热元件 MoSi2
热电偶 B型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80x1000mm
材质:氧化铝管
塞砖 包括两个纤维陶瓷块,用于阻挡来自管内的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔)
温度控制 PID自动控制
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
电源 220V, 50 Hz, 单相最大6KW
质量流量计
(液晶触摸屏)
三台精密质量流量计: MFC 1:气体流量范围0~100 sccm MFC 2:气体流量范围0~200 sccm MFC 3:气体流量范围0~200 sccm (气体流量范围可根据您的要求) 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合
 
更多参数可按需定制

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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