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1200度三温区CVD管式炉

产品型号:KJ-1200T-S60LK3-3FZ

主要用途:该系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验,如半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

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设备介绍

        KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式炉由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。KVz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 保温节能炉膛

    内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 

  • 安全防烫炉壳

    炉壳采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃

  • PID30段程序化控温

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

技术参数

高温炉壳 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃
功率 2.5 KW
电压 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 
加热元件 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其较大程度延长使用寿命)
最高工作温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
最快升温速率 <= 20 ℃
炉管材质尺寸 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 
加热区长度 三温区:200+200+200 mm
恒温区长度 350  (+/-1 ℃) 
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min
真空泵 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。
真空显示计   数显真空计,已安装在不锈钢法兰上 
混气系统 三个质量流量计
三路质量量程分别为
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
内部安装有一混气罐 
售后服务 质保一年,终身保修


可选配件:

质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份



 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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