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等离子增强pecvd系统比较好的厂家

作者:科佳电炉 来源:原创 发表时间:2016-10-08 10:46:08

PECVD系统即PECVD等离子体增强化学气相沉积系统。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
科佳pecvd设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
科佳pecvd设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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主要特点:gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
    1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
    2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
    3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
    4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
    5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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系统选型gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
项 目     推荐选型    管式加热炉体gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
石英反应腔室 :根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
真空系统 :根据需求选择不同真空效果的真空系统。有极限真空0.1Pa,极限真空0.001Pa,以及进口高真空机组极限真空0.0001Pa供选择。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
质子流量供气系统:根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路,三路,四路,五路或更多路供选择。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
射频等离子源:根据需求选择强度不同的射频电源。有(300W),(500W)或更大功率的射频电源供选择。gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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常见PECVD系统组合   gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1. 1200度60滑轨式微型管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,300W射频电源gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2. 1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3. 1200度60双温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4. 1200度60三温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
5. 1200度60微型预热炉,1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源gRA高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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