真空热处理炉从大气状态抽到工作真空度，真空系统的操作要分为4大步骤：tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1、罗茨泵启动，打开前级阀，关闭主阀和预抽阀，用按钮启动机械泵，当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时，比如小于2kPa,启动罗茨泵；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2、预热扩散泵，主阀和预抽阀仍处于关闭状态，前级泵机组对扩散泵抽真空，当低真空规管测量扩散泵前级真空度高于规定值时，比如小于7Pa,启动扩散泵加热器；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3、预抽炉内真空，先关前级阀，并停罗茨泵，稍后找开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时，再启动罗茨泵，前级泵机组对炉内抽气，使之达到预抽真空度；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1）预抽真空期间要观察扩散泵真空度，如果扩散泵前级真空度低于规定值，就关闭预抽阀，稍后打开前级阀，再抽前级真空；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2）当扩散泵前级真空度高于规定值时，关闭前级阀，稍后打开预抽阀，继续对炉内预抽真空；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3）如果炉内真空度低于罗茨泵入口真空度，要停止罗茨泵，直到炉内真空度高于罗茨泵入口真空度后，再启动罗茨泵；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4）当低真空规管测得的炉内真空度达到预抽真空度，而扩散泵的加热时间没到，则打开前级阀，同时对炉内和扩散泵抽真空，等待扩散泵预热时间到；tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4、抽高真空，炉内真空度达到或高于规定值，且扩散泵加热时间到，先关预抽阀，然后开高真空阀，对炉内抽高真空，直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度，才进行下一步操作。tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
真空系统的关闭步骤相对于比较简单，当真空炉温度减低到可关真空系统的要求时，关闭主阀，接着关闭扩散泵加热器，但前级阀不能关闭，前级泵机组仍然工作，直到扩散泵加热器冷却时间到，才依次关闭前级阀和前级泵机组。tbs高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司