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真空热处理炉如何预抽真空

作者:科佳电炉 来源:原创 发表时间:2019-04-17 13:27:04

真空热处理炉从大气状态抽到工作真空度,真空系统的操作要分为4大步骤:1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1、罗茨泵启动,打开前级阀,关闭主阀和预抽阀,用按钮启动机械泵,当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时,比如小于2kPa,启动罗茨泵;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2、预热扩散泵,主阀和预抽阀仍处于关闭状态,前级泵机组对扩散泵抽真空,当低真空规管测量扩散泵前级真空度高于规定值时,比如小于7Pa,启动扩散泵加热器;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3、预抽炉内真空,先关前级阀,并停罗茨泵,稍后找开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时,再启动罗茨泵,前级泵机组对炉内抽气,使之达到预抽真空度;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1)预抽真空期间要观察扩散泵真空度,如果扩散泵前级真空度低于规定值,就关闭预抽阀,稍后打开前级阀,再抽前级真空;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2)当扩散泵前级真空度高于规定值时,关闭前级阀,稍后打开预抽阀,继续对炉内预抽真空;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3)如果炉内真空度低于罗茨泵入口真空度,要停止罗茨泵,直到炉内真空度高于罗茨泵入口真空度后,再启动罗茨泵;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4)当低真空规管测得的炉内真空度达到预抽真空度,而扩散泵的加热时间没到,则打开前级阀,同时对炉内和扩散泵抽真空,等待扩散泵预热时间到;1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4、抽高真空,炉内真空度达到或高于规定值,且扩散泵加热时间到,先关预抽阀,然后开高真空阀,对炉内抽高真空,直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度,才进行下一步操作。1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
真空系统的关闭步骤相对于比较简单,当真空炉温度减低到可关真空系统的要求时,关闭主阀,接着关闭扩散泵加热器,但前级阀不能关闭,前级泵机组仍然工作,直到扩散泵加热器冷却时间到,才依次关闭前级阀和前级泵机组。1qz高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

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