产品中心

石墨烯生长炉PECVD设备

产品型号:KJ-T1200-S60LC-H2

主要用途:KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等

在线咨询报价联系热线:177-3714-9370

图片点击可放大

设备介绍

      KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;炉管连接部分采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用世界卡套连接,不漏气;触屏操作,操作简单方便。这款PECVD等离子沉积设备可适用于石墨烯生长等。I96高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
I96高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 成品质量好

    具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

  • 真空可达10Pa

    真空系统由旋片真空泵和进口数显真空计组成,最高真空可达10Pa

技术参数

产品名称 石墨烯生长炉PECVD设备(CE认证)
开启式滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S60LC-H2
炉管尺寸 Φ60mmX1600mm
加热区 300mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 温度控制系统采用触屏操作,人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序;
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ 
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
炉体结构 滑轨结构,可以实现快速降温
炉  管 石英炉管
                     真空系统部分
名称 真空系统
主要参数
  1. 采用旋片真空泵和进口数显真空计组成,真空度可达10Pa
  2. KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;
  3. 进口数字真空显示计,测量范围为5×10-5-1500mbar,精度可达0.1mbar,测量不同气体种类不需要系数转换 
气路系统部分
名称 四路质量流量计
主要参数 四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示。流量范围流量范围:
1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调
2.一个混气罐
3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;
4.进出气口:4进1出
流量控制:手动旋转式调节
连接方式:双卡套连接
等离子电源部分
名称 500W等离子电源
功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 70W
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
供电电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
冷却方式 风冷
整机重量 13.5KG
随机赠送 石英管1支、坩埚钩、炉塞、密封圈、水冷机、硅胶管、内六角扳手、说明书、保修卡等
售后服务 整机质保一年,终身保修(加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围)

 

 

在线留言

报价清晰 材料透明 省钱省心
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:微信

关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

在线咨询

获取报价

即刻留言

添加微信咨询报价

咨询热线
17737149370

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

177-3714-9370

扫一扫,关注我们