产品中心

等离子体增强化学气相沉积系统

产品型号:KJ-PECVD-D1

主要用途:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电(等离子体)使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。

在线咨询报价联系热线:177-3714-9370

图片点击可放大

设备介绍

       PECVD管式炉系统由:射频电源,管式炉加热区系统,质子流量计供气系统,真空系统,气体定量系 统组成。采用专业加热元件,炉膛保温材料采用多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电(等离子体)使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。
 

产品优势

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

  • 整机能耗低

    炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保

  • 多重安全防护

    超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能

技术参数

产品名称 PECVD
产品型号 KJ-PECVD
500W 射频电源
匹配功率范围 0-500W+1%可调
工作频率 13.56MHZ +- 0.005%
反射功率 最大200W
匹配方式 自动
输出接口 UHF或N型或7/16(L29)
冷却 强制风冷
电压频率 220V 50Hz
匹配阻抗范围 实部0-80Ω 虚部-j200~+j200(可根据负载调节阻抗)
管式加热系统 
滑道 带滑道,可手动滑动炉膛,实现快速升温或冷却功能
加热区长度 300mm
炉管尺寸 60mm x1600mm 外径x长
炉管材质 高纯石英管  (SiO2 ≥ 99.99%)
工作温度 ≤1100℃
温控系统 智能化30段PID微电脑可编程自动控制
温控精度 ±1℃(具有超温及断偶报警功能)
加热速率 建议0~10℃/min
加热元件 电阻丝
额定电压 单相220V 50Hz
可通气体 氮气、氩气等惰性气体
测温元件 热电偶测温
壳体结构 双层壳体结构带风冷系统
真空法兰 法兰一端带1/4”卡套接头进气口,60转KF50快装法兰。另一端带控压阀,气动泄压阀和放气阀。
供气系统 四路精密质子流量计:
测量精度:±1.5% F.S.
流量范围:  0~200 sccm(含10%甲烷的氩气)
流量范围:  0~200 sccm(含10%甲烷的氩气)
流量范围:  0~200 sccm(氩气)
流量范围:  0~500 sccm(含10%甲烷的氩气)
通过触屏来调节气体流量

 
真空系统 旋片泵,真空度在空炉冷态可达10pa,
真空计:进口数显真空计实时显示真空度,精度高。
控压系统 控压范围 -20kpa 到 20kpa (也可按客户要求设计)
自动化控制
15”触摸屏
触摸屏界面集成控制炉子,真空泵,质量流量计以及射频电源。炉子部分需要先设好温度时间曲线。集成控制部分可以控制温度曲线的启停,真空度,气体流量,射频功率和射频启停,泄压阀等。
标准配件 数显真空计2个,石英炉塞1对,高密封法兰1对,氟胶密封圈2对,高温坩埚钩1把,拆卸法兰六角扳手1把,保修卡说明书1份
备注 法兰,质量流量计,阀门,管路等用316不锈钢材质

 

 

在线留言

报价清晰 材料透明 省钱省心
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:微信

关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

在线咨询

获取报价

即刻留言

添加微信咨询报价

咨询热线
17737149370

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

177-3714-9370

扫一扫,关注我们