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高真空PECVD设备

产品型号:KJ-T1200-S5030-H

主要用途:广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。

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设备介绍

      PECVD系统由管式炉,真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD增加功能容易,可扩展等离子清洗刻蚀等功能,PECVD系统薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等优点。 等离子增强化学沉积系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。uhD高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 薄膜应力大小可调

    可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小

技术参数

产品名称

高真空PECVD设备(CE认证)

滑轨管式炉部分

产品型号

KJ-T1200-S5030-H

炉管尺寸

Φ50mmX1600mm

炉管材质

石英管

加热区

300mm

工作温度

1100℃

最高温度

1200℃

温控方式

K型热电偶

控制方式

触屏控制,带独立摇臂,可以根据实际使用需求,调节温控屏的角度,使用更方便

控温精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

升温速率

0-20ºC/min  ,建议10ºC/min

加热元件

含钼电阻丝

工作电压

AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)

加热功率

3KW

炉膛材料

氧化铝多晶纤维

炉体结构

炉体带滑轨,可实现快速升温和降温

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。

壳体

不锈钢壳体

选配

辅助降温风扇

真空系统部分

名称

真空系统

主要参数

1.采用进口安捷伦高真空分子泵组,极限真空度可达10-3pa

2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;

3.数字式真空显示,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度高高

气路系统部分

名称

四路质量流量计

主要参数

四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。流量范围流量范围:

1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调

2.一个混气罐

3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;

4.进出气口:3进1出

流量控制:手动旋转式调节

连接方式:双卡套连接

等离子电源部分

名称

500W等离子电源

功率范围

0-500W(连续可调)

工作频率

13.56MHZ+0.005%

工作模式

连续输出

射频输出阻抗接口

N-type,female(50Ω)

功率稳定度

≤2W

最大反射功率

70W

电源保护设置

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护

供电电压/频率

单相交流(187V-253V)50-60HZ

冷却方式

风冷

整机尺寸

88X483X550 MM

整机重量

13.5KG

认证

ISO认证、CE认证

售后服务

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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