产品中心

立式PECVD设备

产品型号:KJ-PECVD-DZ

主要用途:广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

在线咨询报价联系热线:177-3714-9370

图片点击可放大

设备介绍

       定制立式PECVD设备,由真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。该系统以含钼电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,真空泵接口,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。zTr高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 沉积应力大小可调

    可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小

技术参数

产品名称 定制PECVD设备
产品型号 KJ-PECVD-DZ
立式管式炉
炉膛模式 立式开启式
炉膛材料 进口氧化铝耐火纤维
加热元件 进口含钼加热丝
极限温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 ≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区 单温区、多温区
温区总长度 200、300、440
炉管材质 高纯石英
炉管直径 40、50、60、80、100、120、150mm......
密封方式 304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)  
控制模式 触屏 30段智能PID程序控温  预留通讯接口
控温精度 ±1℃
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件 K型热电偶
气路系统
工作电压 220V/50HZ
最大输出功率 18W
工作温度 5--45℃
最大气压 3*106Pa
气体通道 可同时连接多种气源
流 量 计 质量流量计
A路量程   0~500SCCM
B路量程  0~500SCCM
C路量程   0~500SCCM
气路压力 -0.1~0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 1/4不锈钢管
等离子电源系统
射频频率 13.56 MHz    ±0.005%
功率范围 0-100W、0-300W 、0-500W       ± 1%
射频接口 50 Ω, N-type
嗓声  ≤55DB
冷却 风冷
输入功率 1KW   AC220V/50HZ
数显真空计及连接件
数显真空计   数显真空计安装在不锈钢法兰上
      真空泵组(相关连接配件)
真空泵 真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
汽化系统 ...
 
 蠕动泵
 精确度:+/- 0.5% FS
 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/min
 将吸液管放
置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体
 

 

 

在线留言

报价清晰 材料透明 省钱省心
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:微信

关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

在线咨询

获取报价

即刻留言

添加微信咨询报价

咨询热线
17737149370

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

177-3714-9370

扫一扫,关注我们