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科研型扩散氧化炉

产品型号:管式氧化炉

主要用途:本设备为科研型扩散氧化炉,适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

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设备介绍

    科研型扩散氧化炉是一款通过CE认证的管式炉,能使样品加热到1300℃。本设备适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。9Xx高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 工艺过程自动化

    采用高可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化

  • 友好的人机界面

    具有友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态

  • 故障自诊断功能

    具有强大的软件功能,配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间

  • 恒温区自动调整

    恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度

  • 超温断偶保护

    具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能

  • 可根据需求定制

    具有多种工艺管路,可供用户方便选择;可根据用户要求定制产品

技术参数

产品名称 科研型扩散氧化炉
产品型号 KJ-T1300-LZ-10KS
工作温度 1300℃
应用晶片尺寸  2~8英寸圆片
可配工艺管数量 1~2管/台
恒温区长度 300~600mm
恒温区精度 ≤±0.5℃
温度稳定性 ≤±0.5℃/24h
温度斜变能力 最大升温速率10℃/min,最大降温速率5℃/min
预警 具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能
更多规格可根据要求来定制

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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