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真空管式炉的使用方法与注意事项
作者:科佳电炉 来源：原创 发表时间：2023-03-06 13:41:24
管式真空炉广泛应用于小型钢件的淬火、退火、回火热处理，以及立式CVD镀膜等。设备可在气氛状态、真空状态下运行，也可作为普通管式炉使用，适用于高校实验室及科研院所等单位，也可使用于企业小批量生产用。
真空管式炉和操作与普通的管式炉有小许的区别，下面简单介绍一下真空管式炉的操作：
1、设计升降温曲线：
除了实验的需要外，还要考虑管式炉的使用范围。
当炉管采用刚玉炉管：各温区的升﹑降温速率不宜过快 (≤5℃)。高使用温度可以在1200℃以上
当炉管采用石英管：升温速率≤10℃，降温速率≤15℃. 使用高温度不要超过1100℃
采用硅钼棒为加热原件时，不应该在400℃至700℃温度范围长时间保温内使用，否则硅钼棒将会发生低温氧化致使元件毁坏。
使用温度不要超过真空管式炉的允许高加热温度，并且在高加热温度使用时间不宜过长，不宜超过1小时
2. 管式真空炉一次使用或长时间闲置再使用时，要进行预烘，既在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后再使用，以免造成炉膛破损。
3. 装样时将样品舟推入刚与管炉膛中部，尽量靠近中间位置。
4. 两端塞上隔热炉塞，减少热辐射损失。
5. 装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
6. 通烧结气体的操作步骤：
1）、关闭工作气体气路，将管式炉气体出口端连接真空泵。
2）、打开真空泵电源，打开出气阀，抽空管体和气体管路。
3）、当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时)，关闭进气阀。静置一小时，管式炉真空表不移动仍为-0.1时，说明管式炉密封性良好，否则要找出漏气点改正。也可以使用惰性气体加压的方式测试气密性，加压一般不超过0.05Mpa。
4）旋动旋钮开气瓶主阀，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在合理范围。(压力表上有适用范围)。
5）缓慢打开管式炉进气阀;同时关注管式炉气压表，确认气压在0.05MPa以下(如气压高于0.05MPa，使用管式炉出气阀放气)。
6）管式炉气压表当气压稳定时，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。重复抽气三次后，关闭进气阀和出气阀，将出气孔接到锥形瓶。
7）打开管式炉进气阀，打出气阀，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/s。排除的气体要排到室外或者排风柜内。通气十分钟之后再开始加热。
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