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油扩散泵的使用与维护

作者:科佳电炉 来源:原创 发表时间:2015-01-08 11:22

影响真空管式炉组件扩散泵性能的主要因素
    影响扩散泵性能的主要因素有:
    (1)扩散泵油蒸气的返流,解决的方法是在真空系统上加装冷阱,能有效地防止油蒸气的返流。
    (2)气体分子的反扩散,通过在高真空机组中增加罗茨泵或双机械泵,增大前级泵的抽速,降低扩散泵出气口的压力,这样不仅可减少气体分子的反扩散,而且还能减少油蒸气的返流。
    (3)扩散泵油的裂化分解,采用合格的扩散泵油防止裂化分解。
    (4)扩散泵脏化,污染物留在泵内重复循环,应对扩散泵进行清洗,并更换泵油。
使用注意事项
    (1)定期检查泵的性能,更换符合要求的扩散泵油,参见使用说明书。
    (2)扩散泵加热前及工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后,必须保证泵油已完全冷却后才能关闭冷却水,具体冷却到什么温度才关闭冷却水,详见说明书。
    (3)扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,避免放人大气造成泵油氧化,以延长泵油寿命。
    (4)只有达到扩散泵的前级真空度时,才能进行加热,否则会加速泵油的氧化。
    (5)被抽的应当是干燥、无腐蚀、无灰尘气体。
    (6)如果扩散泵正常工作时真空度突然下降,应首先检查加热器是否断路,再检查是否存在漏点。
    (7)新安装的扩散泵达不到极限真空度,应检查密封是否可靠,装配是否正确。
    (8)扩散泵工作过程中,应注意前级机械泵的工作情况,因为前级机械泵变坏后,直接影响油扩散泵的正常工作。
    (9)要求机械泵的极限压力应比扩散泵前级压力低一个数量级。
保养注意事项
    (1)油扩散泵安装或维修时应垂直放置,使泵芯部件处于正常工作状态。
    (2)清洗零件及泵腔时,先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗,并置于80-100℃下烘干或用电吹风吹干。
    (3)清洗完毕后,按顺序进行装配,注意保持泵芯与泵底垂直,并与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
    (4)连接密封处,橡胶密封应可靠。
    (5)扩散泵如暂时不用,保管期问应在室温保持真空状态,以免泵油污染和零件腐蚀,并将冷却水套内的剩水吹净。
    (6)在长期工作后,泵性能逐渐变坏,应检查油量是否减少或氧化,必要时增添油量,更换新油时要清洗后烘干。

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