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产品型号:KJ-TG800-S150CK3
主要用途:炉膛分为三个独立单元,均可独立控温,加热结束后炉膛均可通过按钮控制前后自动分开成两半,管子暴露在室温环境下,底部风扇强制风冷对其散热。
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
产品优势
可提前在触摸屏系统内设定好整个工艺流程参数,通过一键操作,设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能
控温系统选用10英寸工控触摸屏,可设置5个控温段落,升温降温均可设置程序控制,控温精度±1℃
加热结束后炉膛均可通过按钮控制前后自动分开成两半,管子暴露在室温环境下,底部风扇强制风冷对其散热
具有自动连续PID调节、超温报警、断偶指示等功能
数据实时显示和记录,并能通过U盘导出csv表格形式,数据可存储三个月
抽真空度大气到≤5Pa小于5min,设定真空度自动保持,可通多种气氛
升华炉 | |
加热炉部分 | |
炉膛模式 | 前后移动开启式炉膛(三个工艺炉膛) |
显示模式 | 10英寸触摸屏 |
加热元件 | 短红外波灯管,上下水平面独立加热 |
工作温度 | ≤800℃ |
升温速率 | 5~10℃/s |
衬底移动 | 有,速度可调 |
温区长度 | 200mm(恒温区100*100mm) |
温度均匀性 | ≤±2℃ |
工艺位温降 | ≤5℃ |
快速降温 | ≥1℃/S |
炉管规格 | Φ150*1400mm |
控温精度 | ±1℃ |
密封方式 | 快速法兰密封 |
仪表补偿 | 室温自动补偿 |
温度曲线 | 5段"时间—温度曲线"任意可设 |
外壳温度 | ≤50℃(室温≤25℃) |
超温报警 | 有 |
过流保护 | 有 |
断偶提示 | 有 |
测温元件 | K型铠装热电偶 |
炉膛材料 | 氧化铝纤维 |
外形尺寸 | 3050*830*1300mm |
整机功率 | 共计48KW; |
电源参数 | 380V 50Hz |
传动机构 | |
样品移动 | 伺服电机驱动推杆带动衬底移动 |
运行轨道 | 石英管内设计有双层轨道 |
推杆移动速度 | 可调 |
导轨水平度 | ≤1mm/m |
推杆定位误差 | ≤1mm |
防撞措施 | 超力矩自动急停,脱钩 |
蒸发距离 | 衬底下平面和源上平面间距最小2mm,且可根据需要调节 |
速度误差 | ≤0.5% |
真空与气氛 | |
抽真空能力 | 大气到≤5Pa小于5min,设定真空度自动保持 |
气压范围 | 10-3Pa~105Pa,机械泵极限≤5Pa |
泄漏率 | ≤5-4(Pa*m3/s) |
真空计范围 | 大气到10-5Pa,最大分辨率0.01Pa |
气路系统 | |
3路进气 | |
2L不锈钢混合罐(带指针式压力表) | |
质量流量计每路量程500sccm-1000sccm,流量计灵敏度1sccm | |
超压保护(≥1atm),根据设定压力值自动排气 | |
控制系统 | |
半自动运行 | 手动按钮,电动运行 |
全自动运行 | 显示整个工艺流程且一键操作 |
温度数据存储 | 可存储大于3个月的数据 |
数据导出 | U盘导出csv格式数据 |
工艺曲线 | 设备端触摸屏显示实时曲线并记录 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
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