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高温PECVD设备

产品型号:KJ-T1600-PECVD

主要用途:1、与普通PECVD相比较,其沉积温度大大降低,减少了高温对薄膜的损坏; 2、可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果; 3、炉体有两个温区,可在炉体内形成温度梯度,两个温区最大温差为400℃; 4、带有预热炉,气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。

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设备介绍

       科佳高温PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。带有预热炉,气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合,炉底装有滑轨,可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果。该PECVD通过射频电源将石英真空室中的气体改变为离子状态,等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长。iPZ高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 沉积温度低

    与普通PECVD相比较,其沉积温度大大降低,减少了高温对薄膜的损坏

  • 可快速升降温

    炉底装有滑轨,可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果

  • 双温区设计

    炉体有两个温区,可在炉体内形成温度梯度,两个温区最大温差为400℃

  • 带有预热炉

    带有预热炉,气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合

  • 智能PID多段编程温控

    通过SCR功率控制的PID自动控制加热曲线,30步可编程

技术参数

产品名称 高温PECVD设备
产品型号 KJ-T1600-PECVD
炉膛 分体式,上部可打开
最高温度 1600度
工作温度 ≤1500℃
加热速率  0~10℃/min
温区 200mm+200+200mm
加热元件 硅钼棒
热电偶 B型热电偶
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80mm OD x 3200 mm L  
管子材质 石英管
温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制
加热曲线 30步可编程
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
电源 380V 50Hz 三相
功率 14KW
输出功率 5-300W可调,稳定性±1%
射频频率 13.56 MHz±0.005%稳定性
反射功率 最大200W
真空泵 旋片式真空泵+分子泵系统
 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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