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产品型号:KJ-T1200-PE
主要用途:适用于室温至1200℃条件下进行SiO2、SiNx薄膜的沉积,同时可实现TEOS源沉积,SiC膜层沉积以及液态气态源沉积其它材料,尤其适合于有机材料上高效保护层膜和特定温度下无损伤钝化膜的沉积。
产品优势
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
产品名称 | PECVD系统 |
产品型号 | KJ-T1200-PE |
外壳 | 不锈钢 |
内衬 | 两层氧化铝纤维 |
加热元件 | 电阻丝 |
电源供应 | AC 208-240V,单相,50/60 Hz |
最高温度 | 1200°C (2 hour) |
工作温度 | 1100 °C |
温度均匀 | ±1°C |
最大加热和冷却速率 | ≤15 °C/S |
炉管尺寸 | Φ200×1400mm |
管材 | 优质石英管 |
加热区大小 | Φ250×300mm |
恒定温度, 区域长度 | 180mm |
密封 | 法兰 |
功率 | 8KW |
温度控制 | 30 个可编程段,用于准确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 内置 PID 自动调谐功能,具有过热和热电偶断路保护。 过温保护和警报允许在没有服务人员的情况下进行操作。 +/- 1 ºC 温度精度。 |
准确 | ±1°C |
总重量 | 100Kg |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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