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混气管式PECVD系统

产品型号: KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S

主要用途: 该设备可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。

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设备介绍 

      KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混气管式PECVD系统,由KJ-T1200单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成。混气管式PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜,因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。rPp高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 rPp高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 微电脑PID控制器,操作简便

    操作简便,控温准确、可靠、安全多段可编程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行

  • 高真空分子泵组,性能卓越

    性能可靠:整体型复合转子,强度高、性能稳定; 洁净无油:采用脂润滑精密陶瓷轴承,无油蒸汽污染

  • 法兰采用双环密封技术

    有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

技术参数

管式炉系统

炉管尺寸

直径60mm

加热区长度

440mm(更多规格可按照客户要求定制)

正常工作温度

1100℃

最高工作温度

1200℃

加热元件 掺钼合金加热丝
炉膛材质 采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强

控温方式

智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

真空系统
高真空分子泵组,高真空复合真空计

前级泵2升每秒,分子泵600升每秒

采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接

质子流量计

高精度质量流量计可准确的控制气体流量

气体流量范围为0-500SCCm 误差为0.02%

出气真空压力表,内置气体混气系统,

不锈钢针阀计管道,标准双卡套接头 

射频电源系统

输出功率

50-500W可调±1%

RF频率

13.56MHz,稳定性±0.005%

噪声

≤55DB

冷却

风冷

输入功率

1KW  AC 220V

提供相关配件

气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞

电气认证 CE认证
售后服务 12个月质保、终身保修

可选配件:

 
4路质子流量计 真空系统 射频电源

质子流量计×1

真空系统×1 射频电源×1
气炼石英炉管 真空法兰 热电偶
气炼石英炉管×1 真空法兰×1 防烫罩×2
高温手套 坩埚钩 热电偶
高温手套×1 坩埚钳×1 热电偶×1
刚玉坩埚 炉塞 马弗炉中文说明书
刚玉坩埚×2 炉塞×2 中文说明书×1

注:炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件:

液晶触摸控制仪
液晶触摸控制仪

 1.实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
 2.工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线,保存于触摸屏内,带密码保护功能,可一次性编制多条曲线。
 3.具备断电记忆功能,查询已完成的工艺阶段。
 4.现场操作人员需要调用某条温控曲线时,直接输入曲线序列号即可调用该条曲线,简单方便,杜绝错误发生。
 5.具备多组历史数据记录功能。
 6.具备同时显示多段温度及时间功能。



全自动智能型水冷机
水冷机

  1.制冷量达1800W,可选用环保冷媒;

  2.温控精度可达±0.3℃;

  3.智能温控器具有两种温控模式,适用于不同的使用场合;

  有多种设定和故障显示功能;

  4.具有多种报警保护功能:压缩机延时保护;压缩机过流

  保护;水流报警;温度超高/低报警;

  5.多国电源规格,CE、RoHS认证;

  6.长寿耐用,操作简便;

  7.可选配加热器和净化水质配置。

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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