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CVD管式炉

产品型号:KJ-TCVD1200-S50CK1

主要用途:该CVD管式炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、材料的气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

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设备介绍

       此款CVD气相沉积系统的工作温度为≤1100℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。该CVD管式炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、材料的气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。5Ej高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 5Ej高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 高纯氧化铝纤维炉膛

    发热元件采用优良电阻丝,炉膛采用陶瓷纤维材料,保温性能好,经久耐用,抗拉强度高,无杂志,纯度高,节能效果明显

  • 双层外壳结构 配备冷风系统

    双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度始终保持在安全范围内,上开启打开炉门,操作方便

  • PID智能温控系统

    内置PID自动调节功能,具有过热和断开热电偶断开保护; 超温保护和报警

技术参数

设备名称 CVD管式炉
设备型号 KJ-TCVD1200-S50CK1
最高温度 1200 ℃
工作温度 ≤1100℃
显示 触摸屏
炉管尺寸 外径50mm,总长度600m(其他尺寸可按需求定制)
管材 石英
热区长度 200mm(单温区)
(其他尺寸可按需求定制)
加热元件 电阻丝
加热速率 0-10℃/min
温度控制
 
● 30个可编程段,用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。
● 内置PID自动调节功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。
● 超温保护和报警
热电偶
N型
温控精度 ±1℃
炉体材质 炉体整体304不锈钢,下箱碳钢
炉膛结构
双层钢制外壳,带双冷却风扇
真空法兰 不锈钢密封水冷法兰
供气系统
1通道质子流量计: 气路:一路氮气
流量控制:触屏控制(选配)
真空泵+真空计系统
真空泵+真空计 旋片泵,极限真空度达到10Pa(冷却状态)
压力表  机械压力表


CVD管式炉工厂实拍图



注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。

 

 

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关于鸿炉

 

河南鸿炉机械有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

鸿炉郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
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