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产品型号:KJ-TCVD1200-S50CK1
主要用途:该CVD管式炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、材料的气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
此款CVD气相沉积系统的工作温度为≤1100℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。该CVD管式炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、材料的气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
发热元件采用优良电阻丝,炉膛采用陶瓷纤维材料,保温性能好,经久耐用,抗拉强度高,无杂志,纯度高,节能效果明显
双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度始终保持在安全范围内,上开启打开炉门,操作方便
内置PID自动调节功能,具有过热和断开热电偶断开保护; 超温保护和报警
设备名称 | CVD管式炉 |
设备型号 | KJ-TCVD1200-S50CK1 |
最高温度 | 1200 ℃ |
工作温度 | ≤1100℃ |
显示 | 触摸屏 |
炉管尺寸 | 外径50mm,总长度600m(其他尺寸可按需求定制) |
管材 | 石英 |
热区长度 | 200mm(单温区) (其他尺寸可按需求定制) |
加热元件 | 电阻丝 |
加热速率 | 0-10℃/min |
温度控制 |
● 30个可编程段,用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。 ● 内置PID自动调节功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。 ● 超温保护和报警 |
热电偶 |
N型 |
温控精度 | ±1℃ |
炉体材质 | 炉体整体304不锈钢,下箱碳钢 |
炉膛结构 |
双层钢制外壳,带双冷却风扇 |
真空法兰 | 不锈钢密封水冷法兰 |
供气系统 | |
1通道质子流量计: | 气路:一路氮气 流量控制:触屏控制(选配) |
真空泵+真空计系统 | |
真空泵+真空计 | 旋片泵,极限真空度达到10Pa(冷却状态) |
压力表 | 机械压力表 |
CVD管式炉工厂实拍图
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
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河南鸿炉机械有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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