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产品型号:KJ-TCVD1100-S60CK2
主要用途:这款双温区滑道CVD管式炉采用滑道设计,可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热;可同时连接6种气源,气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制。该高温CVD设备主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
该炉体采用上下“分-合”结构,易于取放炉管
炉膛内部设计有对流栅格,炉体内部气流容易形成上下对流循环,有利于炉温平衡,温场均匀
整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,炉体表面可以安全触摸无滚烫感觉
炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布,并且发热元件已做内嵌式固化,加热时热能辐射均匀温和
气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制
高真空分子泵机组可对炉管进行快速置换气体、实现管内高真空
产品名称 | CVD系统 |
型号 | KJ-TCVD1200-S60CK2 |
双温区滑道管式炉部分 | |
炉膛模式 | 开启式 |
炉体滑动 | 可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热 |
炉膛材料 | 氧化铝耐火纤维 |
加热元件 | 含钼加热丝 |
极限温度 | 1200℃ |
工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤20℃(建议:15℃/min) |
加热温区 | 双温区 |
温区总长度 | 200+200mm |
炉管材质 | 高纯石英 |
炉管直径 | 60mm |
密封方式 | 不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 其中一端用方便进出物料的快接法兰,预留进气品和出气口 |
控制模式 | 多段智能PID程序控温 |
测温元件 | K型热电偶 |
报警 | 有超温和断偶报警 |
供电电源 | 220V 50HZ |
供气系统 KJ-6Z | |
工作电压 | 220V/50HZ |
最大输出功率 | 18W |
工作温度 | 5--45℃ |
最大气压 | 3*106Pa |
气体通道 | 可同时连接6种气源 质量流量计和混气罐都安装在移动箱体内 |
流 量 计 | 质量流量计(可选其他量程 不影响价格) |
A路量程 | 0~300SCCM |
B路量程 | 0~300SCCM |
C路量程 | 0~300SCCM |
D路量程 | 0~300SCCM |
E路量程 | 0~300SCCM |
F路量程 | 0~300SCCM |
气路压力 | -0.1~0.15 MPa |
截止阀 | 不锈钢材质 |
气体连接管 | 不锈钢管 |
真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件) | |
真空泵+数显真空计 | 分子泵机组及相应连接管件 220V/50HZ 底部安滑轮方便移动,上方可放置高温炉极限真空度可实现6.67*10-3pa |
随机配件 | 石英炉管1根、真空法兰1套、炉管堵塞2个、O型密封圈、防护手套1副、坩埚钩1把、聚四氟管3米、内六角扳手2把、说明书1份。 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
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