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石墨烯CVD生长炉

产品型号:

主要用途:适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、二维材料生长、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍

      KJ-T1200-S60K1-3Z是郑州科佳电炉研发生产的一款CVD管式炉,是用于石墨烯制备的专用石墨烯薄膜生长炉。炉底采用滑轨式设计,可以手动左右移动炉子,使炉管暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。本设备同样适用于也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。DbE高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 滑轨式设计 可快速降温

    炉底滑轨式设计,可以左右移动炉子,使炉管暴露在室温环境下,得到快速的降温速率

  • 高纯石英炉管

    炉管采用高纯石英材质,耐高温耐酸碱腐蚀,热稳定性好

  • 双层壳体加装风冷系统

    双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

技术参数

产品名称 石墨烯CVD生长炉
     型号 KJ-1200-S60K1-3Z
滑轨管式炉 炉体结构 滑轨式
最高工作温度 1200℃ 
持续工作温度 ≤1100℃
加热速率 最高20℃/min (建议10℃/min)
加热区长度 300mm 单温区
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 K 型
控温精度 ±1℃
炉管直径 Φ50,Φ60,Φ80都可用
炉管材质 高纯石英管
温度控制器 PID智能程序控温
真空法兰 真空法兰采用304不锈钢制作
左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍
注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰

 
输入电源 单相 220V, 50 Hz  功率:3KW
真空泵系统 旋片真空泵带数字真空计
(包含KF25接口和可移动箱体)
 

 
 极限真空度 10-3 Torr.
炉管内真空度 10-2 Torr.
抽速: 4CFM  (2L/S, 120L/min)
备注:用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组,分子泵组

质量流量计 
 
3路高精度质量流量计:
量程:MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调
底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。
注意事项 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)

注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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