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产品型号:KJ-TCVD1600-L80LB3
主要用途:该设备适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
发热元件采用优良MoSi2,炉膛采用陶瓷纤维材料,保温性能好,经久耐用,抗拉强度高,无杂志,纯度高,节能效果明显
双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度低于60℃,一体式不可打开炉门,保温效果好
内置PID自动调节功能,具有过热和断开热电偶断开保护; 超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作
加热系统(管式炉) | |
最高温度 | 1700 ℃ |
工作温度 | 1600℃ |
显示 | LED显示屏 |
管径 | 80mm(外径) |
管材 | 刚玉管 |
热区长度 | 220+220+220mm(每个热区之间会有间隙) |
加热元件 | MoSi2 |
加热速率 | 0-5℃/min |
温度控制 |
● PID自动通过SCR(可控硅整流器)控制功率,相位角触发,限流电阻器。 ● 30个可编程段,用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。 ● 内置PID自动调节功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。 ● 超温保护和报警,允许在无人值守的情况下操作。 |
热电偶 |
3个热电偶(测量和温度控制功能),位于每个热区的中间(管道外侧)
1个热电偶(仅测量温度),位于管内。 |
温控精度 | ±1℃ |
炉膛结构 |
双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度低于60℃。
一体式不可打开炉门。 |
真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 |
工作电压 | 220V 50Hz |
最大功率 | 6KW |
供气系统 | |
4通道质子流量计: | MFC 1:气体流量范围为0~100sccm MFC 2:气体流量范围为0~200 sccm MFC 3:气体流量范围为0-500 sccm MFC 4:气体流量范围为0~200 sccm 一个气体混合罐安装在底部壳体上,带有液体释放阀 底壳左侧安装4个不锈钢针阀,控制4种气体混合 |
真空泵+真空计系统 | |
真空泵+真空计 | 配备旋转叶片泵,使真空度达到10Pa(冷却状态) |
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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