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化学气相沉积系统

产品型号:KJ-TCVD1200-S80LK1

主要用途:适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍

       此款CVD气相沉积系统的工作温度为300℃至1200℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。该CVD管式炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。Upj高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 Upj高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 智能控温

    智能PID控制,具有多段可编程控温和自整定功能,多段"时间—温度曲线"任意可设

  • 气密性好

    可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便,密封性好,可抽真空通多种气氛

  • 上开启式结构

    双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

技术参数

产品名称 化学气相沉积系统
产品型号 KJ-TCVD1200-S80LK1
管式炉部分
炉膛模式 开启式
显示模式 LED
炉膛材料 氧化铝耐火纤维
加热元件 合金加热丝
极限温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 0-10℃/min
加热温区 单温区
温区长度 440mm
炉管材质 高纯石英
炉管外径 80mm
炉管长度约 1000mm(以实际供货为准)
密封方式 可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便,密封性好
控制模式 智能PID控制,具有多段可编程控温和自整定功能
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
报警:有超温和断偶报警
测温元件 K型热电偶
供电电源 220V 50Hz
加热功率约 4KW
供气系统
流 量 计 三路质量流量计(量程可根据需要选择)
A路量程 氮气 0~1000SCCM
B路量程 甲烷 0~500SCCM
C路量程 乙烯 0~1000SCCM
混气 内含一个精密混气罐
供电电源 220V 50HZ
工作环境温度 5℃-45℃
真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)
真空泵抽速 2L/S抽速的机械旋片泵、波纹管及相关连接件,极限真空可实现10pa
数显真空计 数显电阻真空计集成在可移动供气系统箱体上
配用规管 电阻规
测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)
测量精度 ±10%
零点漂移 ±2%
测量路数 1路
显示路数 1个窗口
显示方式 五位LED数字显示,采用科学计数法,例:1.2E-1,表示为1.2×10-1Pa
电源 AC/220V/50Hz/15W
整机外形尺寸约 含真空泵,宽1000*深600mm*高1000mm

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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