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高温CVD 系统

产品型号:KJ-T1600 CVD

主要用途:此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍

    KJ-CVD 是一种分体式管式炉,配备 60mm 直径的石英管、真空泵和四通道质量流量计气体流动系统。 可混合1-6种气体进行CVD。款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。hob高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 双层壳体上开启结构

    双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

  • 控温精度可达±1℃

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

  • 刚玉材质炉管

    炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

技术参数

产品名称 1600 CVD 系统
产品型号 KJ-T1600 CVD
管式炉 显示 LED
炉体 分体式和上部可以打开
最高温度 1600℃ 
工作温度 ≤1500℃
升温速率  0~10℃/min
温区 300mm
加热元件 MoSi2加热元件
热电偶 B 型
温度控制精度 ±1℃
炉管 80 x 1000mm (OD x minimum L)
材质:高纯氧化铝管
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热曲线 30 步可编程
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
电压与功率 220V, 50 Hz, 最大单相 4KW
真空泵系统 旋片真空泵+扩散真空泵 真空泵组:极限真空10-6 Torr。
旋片真空泵和扩散真空泵将设计成推车带轮子。
质量流量计 四个精密质量流量计:
底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装6个不锈钢针阀,手动控制6种气体混合

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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