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三温区CVD设备

产品型号:KJ-OTF-1700-F5

主要用途:此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

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设备介绍

        这款CVD反应炉控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单,中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电(MLCC)气氛烧结等实验。mCJ高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • PID程控控制系统

    控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠

  • 耐冲击高真空系统

    高真空系统采用高压强,耐冲击真空泵,防止意外漏气造成真空泵损坏,延长系统使用寿命

  • 刚玉材质炉管

    炉管采用刚玉材质,工作温度可达1600度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

 技术参数

名称 高温三温区CVD设备
型号 KJ-OTF-1700-F5
加热系统 显示 LED
最高温度 1700℃
工作温度 ≤1600℃
升温速率 0~15℃/min
温区 3
温区长度 220mm
加热元件 MoSi2 棒
热电偶 B型
控温精度 ±1℃
管尺寸 80 x 1400mm
材质:氧化铝
温度控制 PID自动控制
温控方式 30段可编程
真空计 复合真空计
真空法兰 带阀门和针头的不锈钢真空法兰
电压/功率 220V, 50 Hz, 10KW
真空泵系统 真空泵组
(旋片泵+扩散泵)
包括 KF25、KF50 适配器、真空泵组波纹管和带轮移动柜。
 
冷态极限真空6.67*10-3Pa。
质量流量计(5气路) 流量范围 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
准确性 ±1.5 % F.S.
重复精度 ±1.5 % F.S.
响应时间 ≦10sec
工作压差范围 0.1~0.5MPa
耐压性 3MPa
温度系数 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃
工作环境温度 5~45℃
输入信号 0 V ~ +5.00 V
输出信号 0 V ~ +5.00 V
  电插头形式 DB15针(母)

 

 

 

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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