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如何有效的降低真空系统漏气率
作者:科佳电炉 来源：原创 发表时间：2015-03-06 10:02:30
真空炉的真空系统结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。如何有效降低真空系统的漏气率？科佳电炉的做法是从炉体设计、密封类型、密封材料、密封结构等方面入手以使真空炉达到更高的真空炉更小的漏气率。
科佳电炉在炉体设计方面做出的改进为：
首先就是尽可能地避免出现小曲率半径的死角。其次抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，都利用圆弧过渡，使气路畅通无阻。真空室内各种连接件的结构都经过精密设计，使气路畅通，避免气路堵塞。表面越光亮就越不易气体吸附，为了更好的获得真空度真空系统内表面都经过打磨抛光。
关于密封类型的选择为：
科佳的真空炉密封类型可根据用户所需真空度的高低及实际工作需要选择密封类型，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需利用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则利用“0”型密封圈密封类型，直径压缩比为25％。
密封件材质的选用：
真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足需求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度最高可达2300oC，密封部位进行水冷后，其温度在80oC左右，个别处温度可达100oC以上)。因此，要选择比较理想的密封圈材料。用于真空密封橡胶材料，除需求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还需求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
密封结构的选择：
各种真空系统中，80%以上的密封为静密封，静密封效果的好坏，对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此，科佳的设备静密封结构都进行认真设计，以达到理想的效果。对静密封结构的设计，重点考虑如何选择重点密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能等方面。更多问题可直接与我们联系或留言我们会在第一时间与您联系。
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